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? 靜電吸盤也叫靜電卡盤、ESC吸盤或Electrostatic -CHUCK 、工作原理是通過給靜電吸盤電極施加一定的電勢，使得在靜電吸盤的電極上和搬運(yùn)物體對應(yīng)的位置產(chǎn)生極性相反的電荷，從而利用電場力將需要搬運(yùn)的物體吸附在靜電卡盤的表面上，靜電吸盤在真空環(huán)境吸附利器真空及離子體環(huán)境下仍保持良好的吸附力

? 廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、顯示面板真空蒸鍍，蝕刻，離子注入等工藝和TFT/OLED真空貼合制程。也可以輕松吸取柔軟透氣的物體。如針織布，網(wǎng)孔布等

? 靜電吸盤使用平面整體吸附方式用力均勻，對輕薄柔軟的物料吸附不產(chǎn)生壓痕及褶皺。我公司建立了自己的靜電吸附數(shù)據(jù)庫和模型，對應(yīng)不同的使用場景通過優(yōu)化靜電吸盤的設(shè)計達(dá)到較低的電壓產(chǎn)生較大的吸力