
依據(jù)庫(kù)倫定律(兩個(gè)靜止的帶電粒子間的相互作用力)和洛倫茲定律(運(yùn)動(dòng)的電和在磁場(chǎng)中受的力),利用電磁力從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體有效地吸附。
靜電控制器通過將直流電壓經(jīng)過增壓及倍壓處理,轉(zhuǎn)化為高壓靜電,靜電高壓經(jīng)過靜電吸附單元(以單極或雙電極輸入模式)形成靜電磁場(chǎng),從而對(duì)物體(導(dǎo)體或非導(dǎo)體機(jī)制)進(jìn)行靜電吸附。
功能配置編輯
靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù);靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。
產(chǎn)品特色
傳統(tǒng)抓取搬運(yùn)設(shè)備采用的是機(jī)械運(yùn)動(dòng)或真空吸力,但這類機(jī)器體型很大,造價(jià)高昂,耗電很高;想要拿起特定的物體,還需要對(duì)它們進(jìn)行配置。而如果對(duì)象是玻璃板這樣的脆弱物體,那它們也無能為力。靜電卡盤系統(tǒng)可舉起并運(yùn)輸物體,其表面的電極可在幾乎任何物體之間產(chǎn)生并維持強(qiáng)大的吸附力,可以拿起任何物體,比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅膠板和纖維板。
使用特點(diǎn)
能在大氣和真空環(huán)境下同時(shí)使用;
能吸附導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體及多孔材料;
精簡(jiǎn)夾持搬運(yùn)機(jī)構(gòu),靜電吸附能耗低;
吸附力均勻,吸附時(shí)不會(huì)出現(xiàn)局部受力;
對(duì)大面積薄片工件輕軟支撐,吸附時(shí)不會(huì)產(chǎn)生傷痕和皺紋;
能夠快速開啟和關(guān)閉,對(duì)象物體背面不產(chǎn)生電位,不吸附周圍的灰塵。
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